期刊

中国激光

标题

基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源

作者

李逵, 孟润宇, 李睿晅, 张光银, 姚铭杰, 徐豪, 王雨童, 李捷, 张晓世, 仲维

摘要

开发了由高重复频率（3 kHz）高能量（3 mJ）钛蓝宝石激光器驱动的极紫外和软X射线高次谐波激光光源。该光源系统在30 nm（光子能量为~45 eV）波长附近实现了大于120 μW的平均功率，在13.46 nm波长（光子能量为~92 eV）处实现了1.9 μW的平均功率，其中在13.46 nm波长处带宽为0.124 nm的单个谐波实现了0.32 μW的平均功率。此外，在该系统中，激光功率连续12 h的不稳定性均方根小于5%，连续8 h光束指向均方根小于10 µrad。该系统在生物成像、干涉光刻和芯片检测等领域中具有重要应用。

原文链接

https://www.opticsjournal.net/Articles/OJfdd3bb2cf5bd129f/Abstract